Diffuzli kremniy bosim datchiklarining xususiyatlari

Tarqalgan silikon bosim sensori xususiyatlariUPX19

1. Kichik o'lchamli transmitterlarni tayyorlash uchun javob beradi: kremniy chipining kuchga sezgir qarshiligining piezorezistiv ta'siri nol nuqtasiga yaqin past diapazonli uchastkada o'lik zonaga ega emas va bosim sensori diapazoni quyidagicha bo'lishi mumkin. bir necha Kpa kabi kichik.

2. Yuqori chiqish sezuvchanligi: Silikon kuchlanish qarshiligining sezgirlik omili metall kuchlanish o'lchagichlarga qaraganda 50 dan 100 baravar yuqori, shuning uchun mos keladigan sensorning sezgirligi juda yuqori va umumiy diapazonning chiqishi taxminan 100 mv. Shuning uchun interfeys sxemasi uchun maxsus talablar yo'q va undan foydalanish qulayroqdir.

3. Yuqori aniqlik: Sensorning tuyg'usi, sezgir konvertatsiya qilish va aniqlash bir xil komponent tomonidan amalga oshirilganligi sababli, oraliq konvertatsiya aloqasi yo'q va takroriylik va histerezis xatosi kichikdir. Monokristalli kremniyning o'zi juda qattiq va deformatsiya kichik bo'lgani uchun yaxshi chiziqlilik ta'minlanadi.

4. Ishning bir jinsli deformatsiyasi mikro deformatsiyaning tartibi kabi past bo'lganligi sababli, elastik chipning maksimal siljishi sub-mikron tartibida bo'ladi, shuning uchun hech qanday aşınma, charchoq, qarish yo'q va xizmat muddati 1 × 103 bosim aylanishiga teng, barqaror ishlash va yuqori ishonchlilik.

5. Kremniyning mukammal kimyoviy korroziyaga chidamliligi tufayli, hatto izolyatsiyalanmagan diffuz silikon bosim sensorlari ham sezilarli darajada turli xil muhitlarga moslashish qobiliyatiga ega.

6. Chip integratsiyalashgan jarayonni qabul qilganligi va uzatish qismlari yo'qligi sababli, u kichik o'lchamli va engil vaznga ega.

Tafsilotlar uchun murojaat qilingStella Meng.