Diffuzion kremniy bosim o'tkazgichining tuzilishi va ishlash printsipi

Tarqalgan silikon bosim o'tkazgichining tuzilishi tarkibi

Bosim sensori chiqishi sababliUPX19nostandart signal bo'lib, amaliy qo'llanmalarda sensorni universal holga keltirish va signalni uzatishni va yozishni osonlashtirish uchun datchik standart signalni chiqarish uchun standart signal kirish davri bilan birgalikda ishlatiladi. Ayni paytda standart signalni chiqaradigan sensor bosim o'tkazgichi deb ataladiUPB13.

Muxtasar qilib aytganda, transmitter asta-sekin sensordan ishlab chiqiladi. Ushbu maqolada o'rganilgan diffuzli silikon bosim o'tkazgich asosan MEMS sensori, o'lchash kapsulasi, interfeys va ishlov berish davri (aqlli elektron karta) dan iborat.

Bosim sensori va diyot harorati sensori o'lchash kapsulasining yuqori qismiga qadoqlanadi va kapsula tanasi ikkita sızdırmazlık gardish bilan qisiladi, transmitterning o'lchash qismini hosil qiladi, bu esa bosim signalini o'lchash uchun javobgar bo'ladi. ish joyini kuchlanish signaliga aylantirish. Bundan tashqari, elektron platalar, suyuq kristalli displey sarlavhasi va ulanish terminali displey qismini tashkil etadi, bu esa kuchlanish kuchaytirgichi orqali kuchlanish signalining chiqishini 4-20mA ga aylantirish, so'ngra standart oqim signalini chiqarish uchun javobgardir.

Yoyilgan silikon bosim o'tkazgichining ishlash printsipi

Monokristalli kremniyning piezoresistiv ta'siriga asoslanib, elastik komponent mikroskopik plastinada ma'lum bir yo'nalishda rivojlangan mikroelektromekanik ishlov berish texnologiyasi bilan ishlab chiqariladi va teng qarshilikka ega to'rtta kuchga sezgir rezistorlar o'z pozitsiyalarida integral mikrosxemalar texnologiyasi bilan ishlab chiqariladi, Uitstoun ko'prigiga ulanadi. Ko'prikka doimiy voltaj (oqim) qo'llaniladi va o'lchov bosimi silikon chipiga o'lchov kapsulasida muhrlangan silikon moyi orqali yo'qotmasdan uzatiladi, keyin transmitter o'lchanadigan bosimga chiziqli mutanosib bo'lgan kuchlanish signalini chiqaradi, va keyin kuchlanish signali kuchaytiriladi va elektron simlar orqali ikki simli standart signalga aylanadi.

Xulosa qilmoq:

Uning ishlash printsipidan ma'lum bo'lishicha, bosim sensori bosim o'tkazgichining muhim qismidirUPB1, va transmitterning harorat o'zgarishi asosiy manbai - silikon bosim sensori haroratining o'zgarishi. Kremniy bosim o'tkazgichlarining harorat o'zgarishi kompensatsiyasi bo'yicha hozirgi tadqiqotlar asosan silikon bosim sezgichlari qismiga qaratilgan.

Tafsilotlar uchun iltimos, murojaat qilingTsi Xuang